在青島西海岸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園，丹佳團(tuán)隊(duì)打造的Class 1級(jí)潔凈車間正刷新行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。車間采用層流天花板與多孔地板形成的垂直單向流，風(fēng)速穩(wěn)定在0.45±0.05m/s區(qū)間，0.1μm微粒濃度控制在1個(gè)/m³以內(nèi)。獨(dú)創(chuàng)的V型導(dǎo)流墻設(shè)計(jì)使氣流均勻度達(dá)到95%，徹底消除傳統(tǒng)潔凈室常見的渦流死角。
更核心的技術(shù)突破在于智能粒子監(jiān)控系統(tǒng)：128個(gè)激光粒子傳感器構(gòu)建的監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)，每30秒完成全車間掃描，與FFU風(fēng)機(jī)過濾單元聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，潔凈度波動(dòng)范圍壓縮至±3%。某晶圓廠項(xiàng)目數(shù)據(jù)顯示，該車間在黃海潮濕季仍將相對(duì)濕度穩(wěn)定在35%±2%，靜電消除效率提升40%，產(chǎn)品良率提高2.3個(gè)百分點(diǎn)。
