在青島西海岸半導體產業園,丹佳團隊打造的Class 1級潔凈車間正刷新行業標準。車間采用層流天花板與多孔地板形成的垂直單向流,風速穩定在0.45±0.05m/s區間,0.1μm微粒濃度控制在1個/m³以內。獨創的V型導流墻設計使氣流均勻度達到95%,徹底消除傳統潔凈室常見的渦流死角。
更核心的技術突破在于智能粒子監控系統:128個激光粒子傳感器構建的監測網絡,每30秒完成全車間掃描,與FFU風機過濾單元聯動調節,潔凈度波動范圍壓縮至±3%。某晶圓廠項目數據顯示,該車間在黃海潮濕季仍將相對濕度穩定在35%±2%,靜電消除效率提升40%,產品良率提高2.3個百分點。